Модификация нанопористых диэлектрических материалов в плазме и ее послесвечении

Размер файла: 521.69 КБ, последнее обновление 16.11.2012 02:24

Автор: Зырянов Сергей Михайлович

Защищаемая степень: к.ф.-м.н.

Дата рассылки: 19 Мая, 2010