Разработаны и созданы опытные образцы открытых и ламповых источников УФ излучения на основе различных схем импульсно-периодического газового разряда. Использованы различные модификации многозазорных сильноточных разрядов короткой длительности (RCL - разрядные схемы с коммутатором, RCL - разрядные схемы, собранные по схеме Аркадьева-Маркса, RCL - разрядные схемы с поджигом от автономного секционированного емкостного разряда, т.е. схема с двойным разрядом). Предложен новый источник УФ или озона на основе барьерного разряда с новой структурой электродов, а также миниозонатор на основе секционированного емкостного разряда. Исследованы характеристики и проведена оптимизация ряда конструкций источников УФ и озона. Предлагаемые источники УФ и озона перспективны при создании УФ/озонных технологий в микроэлектронике, лазерной технике, медицине и экологии.
Работа выполнена при поддержке грантов РФФИ ? 05-08-18032 и
НШ-7101.2006.2.
Номер документа: 2006 -20/819
Авторы: А.В. Аванесов, Д.Г. Волошин, Д.Г. Дамбраускас, А.Т. Рахимов, В. Б. Саенко
Email: VSaenko@mics.msu.su